真空泵机组
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LS系列螺杆泵是一款高速排气与低电力消费同时满足的干泵。有四种型号可供选择，能够根据设备大小及使用条件，选出合适的排气容量。LS系列螺杆泵主要应用于溅射、镀膜、贴合、真空干燥、冷冻等行业。
DTC系列隔膜泵有着体积小，所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料，适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体，高真空至1000Pa的优点。主要应用于真空吸盘、晶圆、印刷设备、自动包装机、光学器具、半导体等行业领域。
DTC系列隔膜泵有着体积小，所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料，适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体，高真空至1000Pa的优点。主要应用于真空吸盘、晶圆、印刷设备、自动包装机、光学器具、半导体等行业领域。
DTC系列隔膜泵有着体积小，所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料，适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体，高真空至1000Pa的优点。主要应用于真空吸盘、晶圆、印刷设备、自动包装机、光学器具、半导体等行业领域。